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气体输送架 GR

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GR

 

气体输送架 GR

 

产品特性：可实现电子级特殊气体的持续不间断安全供应；主要采用PLC控制，触控屏为人机界面或数显按钮式操作界面。
主要特点：自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断。
适用场合：主要用于IC、TFT、Solar、LED等工厂特气的供应需求。
适用气体：惰性气体、如CF4,SF6,CHF3,Ar,He等
气源供应方式：Cylinder
产品系列：AUTO GR