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气体输送柜 GC

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GC

 

 

气体输送柜 GC

 

产品特性：可实现电子级特殊气体的持续不间断安全供应；主要采用PLC控制，触控屏为人机界面或数显按钮式操作界面。
主要特点：自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断。
适用场合：主要用于IC、TFT、Solar、LED等工厂特气的供应需求。
适用气体：易燃/自燃性气体、腐蚀性、毒性，如SiH4,NF3,NH3,N2O,HCL等
气源供应方式：Cylinder
产品系列：AUTO GC