高纯气体加热器
SH-P系列气体输送加热器设计用千加热关键载气和工艺气体,生产制造满足行业严格的纯度标准,在不污染纯度的情况下为客户提供了一种更高效、更、准确的气体加热方法。
间接加热:加热气体被隔离仕局纯度的316L无缝不锈钢管中,永不接触加热元件或任何其他加热器组件。
产品特点:
•与“伴热带”相比,SH-P加热器提供更准确的温度控制
• SH-P加热器消除了凌乱的电线和控制设备
• SH-P可以很容易的安装到特气柜或气流沿线任何集成点 SH-P加热器-气大多数标准控件兼容
•SH-P符合一系列行业标准(高纯度和超高纯度)
•SH-P利用铸入组件的优点,以较低的瓦数提供更多的热量,与其恸n热器相比,SH-P使用更少的能量来实现相同的△T
典型应用:
· 载气加热
· 工艺气体加热
· 用千晶圆片干燥空气和氮气加热