特气柜
什么是特气柜？
用于提高局部的排气通风，保护钢瓶（气瓶）不受柜子外面火灾以及保护周围物免受内部火灾的金属容器。是专为易燃易爆、腐蚀性、毒性等危险性气体输送而设计的供应系统，基本功能包括自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断（当设定报警信号被触发时）。气瓶柜通常有一瓶位、二瓶位和三瓶位。全自动特气柜（GC）通过采用PLC控制，触控屏为人机界面，通过设备安装的压力传感器、气动阀、过流量计等装置，实现设备安全有效的运行。
特气柜主要用于特种气体的高纯度安全稳定供应，如：输送电子特气参与泛半导体行业集成电路制造的核心工艺流程：掺杂、光刻、刻蚀和CVD成膜工艺环节。通常使用气体的种类有高纯氧气、氮气; 氩气、氢气、氦气; 甲烷、乙炔、二氧化碳，还有混合气体等实验室有些设备还会用到有毒有害气体。
特气柜内部图构造：
1.特气柜面板的厚度大于等于2.7mm的钢板并涂有抗腐蚀环氧涂层，并且所有材料都必须是非易燃的。（颜色为白色）
2.特气柜全表面都不能有震动，不可有锋利的边缘。
3.特气柜的底板厚度大于等于3.4mm，必须铺有防滑垫片，且固定的钢瓶的链条必须为防腐蚀的不锈钢链条。
4.特气柜的底面设计要便于放置或移走钢瓶而不必调整钢瓶高度。如钢瓶尺寸有变动，设备厂商无条件的更改钢瓶CGA接头高度。
5.特气柜要可以容纳两个供气钢瓶。
6.特气柜的门，管路线路通道，窗及其他孔洞必须安装密封圈。
7.特气柜进气口要安装灰尘过滤器。
8.所有特气柜标明其供应特殊气体的种类及其浓度，特气柜内部所有的管路及阀件应该标明其作用，例如供气，吹扫或排气。
气柜门构造：
1.气柜门能自动关闭，自动卡锁及用钥匙锁定。
2.气柜门能打开90度角以上，以方便正常操作。
3.所有的气柜门及窗子使用同样的钥匙。
4.气柜门能平稳地打开及关闭，并具有防关闭功能，闭门器的联接杆方便拆卸。
操作窗口：
1.操作窗口能自动关闭，自动卡锁及用钥匙锁定。
2.操作窗口的玻璃必须是厚度大于等于6.5mm，并有金属丝加固的安全玻璃。
3.窗口背面要安装隔离玻璃嵌板。
特气柜的排气装置：
1.特气柜排气管的直径必须大于等于6”SS的管路，并覆盖由FM论证的ECTFE材料。
2.排气状态的持续监控信号要显示在控制屏上并与控制器联动，以提供抽风量不足时的停机或报警选项。
3.排气管上加装特种气体侦测器。
特气系统管道安装
1.盘面的排气管必须保持微量N2微漏通过，监控其背压来侦测排气管是否堵塞。
2.更换钢瓶时，Pigtail必须保持小流量的PN2吹出。
3.盘面所用的部件必须与所供特种气体相适应，所有的阀件必须可以开关100000次以上。（并提供给甲方阀件的相关证明）
4.气路设计的最大承受压力3000Psi，最高温度250℃。
5.气路系统构造要符合ASTM标准。
6.调压阀要安装在便于调节压力及维护的位置。且各种电子传感器禁止安装在调压阀下端。
7.必须使用标准结构的部件，以减少死角。且所有的弯头、接头都必须使用标准配件。材料全部选用SUS316L—EP材质。
8.特气柜要装有气体、温度及烟雾侦测器。
9.特气柜要装有作动点为68℃的喷水头，还要装有温度传感器并与盘面控制器联动。
特气柜功能要求：（包含特气柜（GC）/BSGS，基本功能要求）系统报警
1.排风风压负压报警功能。
2.Z-purge报警功能。
3.过流量报警联动功能。
4.气柜各种压力报警联动阀门自动开关、供气路线自动切换。
5.特气柜要装有气体、温度及烟雾侦测器报警功能。
6.所有安全装置及与控制器的触摸屏必须有失效互锁保护型。
7.信号灯的警报信号根据不同的颜色分为三种：红色是警报，黄色是故障，绿色是正常运行。亮度要求为在5米距离范围内能够看清楚信号灯光。
特气供应系统控制器
1.控制屏幕，必须是镶嵌在现有的面板上的、有显示特气系统的吹扫状态及P&ID、彩色的触摸屏。
2.气路系统可以设定自动或手动操作模式。
3.所有的报警装置应该安装在显而易见的地方并伴有警报声，报警声经确认后静音，屏幕的报警信息要求报警完全消除后才能消除，所有的操作记录必须要保存半年以上。
4.控制器要装有一个EMO按钮用来关闭供气气动阀使系统完全停止供气。
5.控制器有密码保护并且可以在安全连锁条件下自动控制气动。
6.控制器PLC应该与GMS系统PLC直接通讯，不可以通过触摸屏的CPU和外界通讯。
7.控制器可以与GMS通讯，并且可以远程关闭。
8.设备厂商要就设备的自动操作及手动操作提供详细说明，共同讨论通过，当有不合理的操作的时候，软件能够自锁并等待确认。
9.控制器必须能够检测到组件故障，并时常完成自动检查和校正。
10.控制器必须能够设定和监控选定的警报项目。
11.控制器必须有旁路或自动的互锁程序。
12.控制器必须有自动及手动操作功能。
13.控制器必须能够接受外部互锁信号。互锁类型必须要通过和甲方业主协商而且控制器必须有4个干接点供外部操作使用。
14.控制器程序控制器必须具有上传和下载的功能，以便对程序作故障分析和更新的动作。
15.至少要有两级密码设置，如操作界面密码和参数修改密码。
